苏州建成6英寸微纳机电制造中试线

　　本报讯记者李佳霖报道:日前中国—新加坡苏州工业园区举办了一场具有特别意义的MEMS传感器产品交付会，苏州纳米科技发展有限公司将6英寸微纳机电制造(MEMS)中试线的首个产品正式交付客户。这意味着国内首条全开放、市场化运作的6英寸微纳机电制造(MEMS)中试线正式运营，该中试线填补了中国MEMS产业创新链空白。

　　当前，我国正处在MEMS产业格局形成、产业化加速发展的时期。据了解，苏州6英寸微纳机电制造(MEMS)中试线由苏州纳米科技发展有限公司建设，该中试线是江苏省“十二五”重大科技平台项目。苏州素以集成电路产业闻名，一直积极推动中试线建设的苏州纳米科技发展有限公司负责人、苏州市集成电路行业协会秘书长张希军告诉记者：“我国中小MEMS企业发展面临很多困难，其中一个关键的难题是产品的工程化与中试生产，规模代工厂门槛较高，高校院所的实验室工程化能力较弱或开放度不够，产品的工程化中试已成为影响中小MEMS企业规模化成长的瓶颈，而中试平台(线)不仅能够支持中小公司创新，还可以促进他们规模化发展。”

　　苏州6英寸微纳机电制造(MEMS)中试线采用市场化、全开放的运作模式，主要开展MEMS产品工艺研发、MEMS加工、部分封装测试、专利运营、设备租赁、超净场地租赁、工艺技术培训等十多项专业服务，目前已成功导入压力传感器、微镜传感器、微流体传感器等产品，产品样品测试结果良好，基本具备了MEMS芯片的开发加工能力。